化腐前清洗机半导体湿法清洗设备天津南轩

化腐前清洗机
1.适用于多种规格硅片的腐蚀清洗，同一台设备可编程多套运行软件
2.根据工艺需求，槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环和过滤等功能
3.全自动控制，可选择自动配补液，保证了操作的安全稳定性
4.高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠
5.机械手直接夹取PFA卡塞，更好的满足客户的需求
6.采用国际**电气元件